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 Komponenten für den Einsatz im Vakuum
Beim Einsatz von Antrieben und beweglichen Komponenten in Vakuumkammern sind wesentliche
Unterschiede zu sonstigen Anlagen zu beachten. Viele Komponenten sind keine Katalogware
und müssen gefertigt werden.
Die LSA GmbH kann auf umfangreiche Referenzen und einen großen Erfahrungsschatz
zurückgreifen für die Konstruktion und Realisierung von vakuumtauglichen Systemen.
In einer Vielzahl von erfolgreichen Projekten wurde Know-How für Antriebssysteme
im technischen Vakuum und in Reinräumen aufgebaut. Unter Verwendung spezieller Werkstoffe
(Beachtung von Gasraten und Partikelemission) und sorgfältiger Auswahl der Baugruppen
wurden die Lösungen auch unter Extrembedingungen realisiert.
Wir greifen auf einen umfangreichen Pool spezialisierter Lieferanten zurück. Sollte
die Beschaffung einzelner Komponenten dennoch nicht möglich sein, sind wir in der
Lage z.B. Getriebe entsprechend der Anforderungen zu konstruieren.
Vakuumtaugliche Systeme werden bei uns in einer speziellen Reinraumkabine mit hohen
Sauberkeitsanforderung und minimaler Kontaminationsgefahr für die zu montierenden
Komponenten aufgebaut.
Fakten:
- Bis 10-7 mBar
- Minimale Ausgasung und Partikelemission
- Sonderlösungen für Wärmerückführung
- Groß dimensionierte Bewegungssysteme
NEU Vakuum-Linearantrieb:
Wir freuen uns, Ihnen einen neuen Antrieb präsentieren zu können. Die Linearachse
ist eine Eigenentwicklung der LSA GmbH, in die der Erfahrungsschatz aus einer Vielzahl
von vorherigen Lösungen eingeflossen ist. Der Antrieb ist für den Einsatz im technischen
Hochvakuum bis 10-7 mbar konditioniert. Der Motor ist bürsten- und
eisenlos. Die Achse ist frei skalierbar bis zu einer Länge von mehreren Metern.
Der Querschnitt kann entweder als hoch belastbares Profil (2 Führungsschienen,
zentriertes Magnet-Track) oder in Kompaktbauweise (1 Führungsschiene, darüber
liegendes Magnet-Track) ausgeführt werden.
- 0,01-5000 mm/s
- bis 50 m/s2
- 0,001 mm Wiederholgenauigkeit
- 0,001 mm Positioniergenauigkeit
Videos:
Präzision
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und
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Geschwindigkeit
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Synchron-Servomotor Typ VAK SY 1,7-3000:
0,53kW Mo=1,8Nm, Mn=1,7Nm, nn=3000Upm, Io= 2A, In=1,6A, u=230V
Gehäuse aus Aluminium
Welle aus 42CrMo4 Stahl 14x30
Anschluss: teflonisolierte Litze, Teflonklemme mit VA-Klemmeinsätzen
- entlüftet
- mit Resolver
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Synchron-Servomotor Typ VAK SY 0,38-6000:
0,24kW Mo=0,41Nm, Mn=0,38Nm, nn=6000Upm, Io= 1A, In=0,85A, U=230V
Gehäuse aus Aluminium
Welle aus 42CrMo4 Stahl 9x20
Anschluss: teflonisolierte Litze, Teflonklemme mit VA- Klemmeinsätzen
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Torque-Motor T100-30-5V0-VAK2:
U=230V, n=160rpm, Mn=1,6Nm, Trägheitsmoment=1150kgmm2 I=160mA
Polzahl=24
Gehäuse aus Aluminium
Anschluss: teflonisolierte Litze, Teflonklemme mit VA- Klemmeinsätzen
- entlüftet
- Encoder - Messsystem
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Linearachse mit Linearmotor:
U=230V, Hub 250..400mm, Mn=
Polzahl=8/12
Gehäuse aus Aluminium, Kugelkettenführung, mit Vakuumfett
Anschluss: teflonisolierte Litze, Teflonklemme mit VA- Klemmeinsätzen
- entlüftet
- Encoder - Messsystem
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Schneckengetriebe:
i=22 mit Hohlwelle di=30
- massereduziert
- Gehäuse aus Aluminium
- Welle und Schnecke aus VA
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Kühlkörper für Forcer Linearmotor:
Kupfer, vernickelt, mit Langlochbohrungen und Fittings
Verschiedene Formen (Nach Zeichnung)
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Plattenkühlkörper:
Kupfer, vernickelt, mit Langlochbohrungen und Fittings
Verschiedene Formen (Nach Zeichnung)
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Befestigungswinkel:
Biegesteifer Winkel, gewichtsoptimiert, zur Aufnahme von Prozesskomponenten
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Komplette, einbaufertige Systeme
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Klemmen:
Klemmen aus Teflon
- VA-Einsätze mit 2mm Bohrung, Schrauben M2,5
- VA-Einsätze mit 1,5mm Bohrung, Schrauben M2
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Kabelschleppsystem:
Teflonband mit Kabelhalter aus Teflon (PTFE), Fertigung nach Zeichnung
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Führungsschienen:
Spezielle vakuumtaugliche Schienensysteme, Gesamtabweichung von 30µm über
die Länge
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Sondersysteme:
2000mm langer Linearantrieb, max. Durchbiegung 300µm,
hervorragende Gleichlaufeigenschaften
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