Optisches Dickenmesssystem Rundtisch-Messsystem - LSA | Automation Sondermaschinen DICKENMESSANLAGE

Rundtisch-Messanlage

Dickenmessanlage

 

Neuartige Stärkemessung höchster Präzision

Kompakte semi-kubus Dickenmessanlage für hochgenaue und präzise Stärkemessung von dünnen kreisrunden Geometrien, speziell für Prüflinge aus der Mikroelektronik- und Halbleiterindustrie.

Dickenmessanlage für die Halbleiterfertigung - LSA | Automation | Mess- und Prüfanlagen

 

» RUNDTISCH-MESSANLAGE.


HOCHPRÄZISE DICKENMESSUNG

 

Mit dieser neuartigen Dickenmessanlage gelingt eine hochgenaue und präzise Stärkemessung/Dickemessung von dünnen kreisrunden Geometrien, speziell für Prüflinge aus der Halbleiterindustrie. Die statische Auflösung beträgt 28 nm bei 1 kHz und wird durch ein konfokal-chromatisches Sensorsystem umgesetzt.

 

Konstruiert für eine robuste Messung wird im vollautomatischen Messprozess eine mineralische Messplatte agil bewegt, welche aus Naturhartstein besteht und sowohl ein biegelinienoptimiertes Design aufweist als auch auf seine Eigenschwingformen und Eigenfrequenzen hin untersucht und anwendungsoptimiert ausgelegt wurde.

 

Hohe Sensitivität für anspruchsvolle Analysen – Zudem bieten zwei Goniometer eine präzise Feineinstellung der Sensorik in 5 Freiheitsgraden, wodurch Sensorik und Prüfling in optimaler Ausrichtung zueinander eingestellt und über 3 Achsen dynamisch bewegt werden können.

 

Moderne HMI – Dem Bediener stehen mehrere Messmethoden zur Verfügung, welche er intuitiv über ein modernes Touch-Panel mannigfaltig parametrieren und konfigurieren kann.

 

 

  • Hochpraezises-System-zur-Dickemessung-LSA-GmbH-Mess-und-Pruefautomation

Perspektive Messtisch

#Messtisch mit zentralem Messnormal #ausgerichtete Sensorik  #Drehachse

  • Messtisch-mit-C-Gestell-aus-Naturstein-LSA-GmbH-Mess-und-Pruefautomation

Mineralische Messplatte

#C-Gestell aus Naturstein für Sensorik #biegelinienoptimiertes Design

 

 

  • Praezisionsringsystem-LSA-GmbH-Mess-und-Pruefautomation

Präzisionsringsystem

#spielfreies Präzisionsringsystem #reibungsarm  #schmutzunempfindlich

  • Sensorik-mit-Goniometer-LSA-GmbH-Mess-und-Pruefautomation

Konfokal-chrom. Sensor

#Sensorikaufnahme  #Goniometer  #Schutzeinrichtung der Sensorik

 

 

 

 

 

Maßgeschneiderte Lösungen

 

Mess- & Prüfanlagen

 

kundenspezifische Systeme

Profitieren Sie von unserer ausgezeichneten Kompetenz sowie unseren adaptierbaren Lösungen im Spezial- und Sondermaschinenbau

 

Unsere Prüfstände sind hochpräzise Mess- und Prüfanlagen, welche als Sondermaschine – exakt auf Kunden- und Prozessanforderungen zugeschnitten – entwickelt und realisiert zumeist in der Montage- und Fertigungsautomation als End-of-Line- oder In-Line-Prüfeinrichtung Einsatz findet. Unsere kundenindividuellen Mess- und Prüfsysteme zur automatisierten und serienmäßigen Erfassung von Messwerten gewährleisten ein hohes Maß an Präzision, Schnelligkeit und Anpassbarkeit.

 

 
Jirka Hofmann | LSA GmbH Automation Sondermaschinen

Kontakt • Dicken-Messanlage

 

Jirka Hofmann

Leiter Sondermaschinen

 

Diese E-Mail-Adresse ist vor Spambots geschützt! Zur Anzeige muss JavaScript eingeschaltet sein!

 

 

 

Präzise Mess- & Prüfautomation

 

Dank unserer branchenübergreifenden Erfahrung sowie ganzheitlicher Betrachtungsweise sind wir in der außerordentlich komfortablen Lage beliebige Mess- und Prüfaufgaben industrieller Messanforderungen bei höchster Kundenzufriedenheit zu realisieren sowie kundenindividuelle und hochpräzise Automationslösungen der Messtechnik zu entwickeln.

 

Insbesondere in der Montage- und Fertigungsautomation konnten wir für unsere im Höchstmaß zufriedenen Kunden bereits eine Vielzahl komplexer Prüf- und Messverfahren automatisieren und unsere technologischen Ansätze in leistungs- und taktstarke sowie effiziente und zuverlässige Komplettlösungen inkl. Antrieb, Steuerung und Software überführen.